極低アウトガスグリース「BARRIERTA BFV 402」
半導体製造における高温・高真空環境下では、グリース由来のアウトガスやコンタミがウェーハ汚染の要因となり、歩留まりを悪化させることがあります。
近年、半導体の微細化などによってグリースの使用環境が厳しくなる中、アウトガスやコンタミへの対応の必要性は高まっています。
弊社では、ユーザーの皆様の要求に応えるため、極低アウトガスグリース「BARRIAERTA BFV 402」を新たに開発しました。
極低アウトガスグリースの主な特長
極低アウトガスグリースの用途例
極低アウトガスグリースの試験データ(ASTM E 595 準拠)
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