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次世代の半導体製造に対応する極低アウトガスグリース/低発塵グリース
近年、半導体の微細化により要求が高まっている『低アウトガス』『低発塵』『メタルコンタミフリー』をコンセプトに開発した『極低アウトガスグリース』の他、クリーンルーム適合材料として認められた『低発塵グリース』を展示します。
高真空環境下で使用可能なフッ素グリース／オイルをはじめ、各半導体製造装置の軸受、直動、シール部品に最適な潤滑剤をご提案致します。経験豊富なスタッフがお客様からの様々なご要望に対応いたしますので、是非、弊社ブースまでお越しいただき、ご相談ください。
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主な出展製品
- より高真空下で使いたい方に 「極低アウトガスグリース BARRIERTA BFV 402」
- 広い温度範囲で使いたい方に 「極低アウトガスグリース BARRIERTA KFV 202」
- 低発塵グリース ISOFLEX TOPAS NCA 152
会場案内
- 会期：2024年12月11日(水)～13日(金) 3日間
- 時間：午前10時～午後5時
- 会場：東京ビッグサイト東1～6ホール
- ブースNo.：東5ホールNo.5702
- 展示内容：半導体製造装置用潤滑剤(グリース)
- 共同出展社：イーグル工業株式会社
- 出展者サイト：SEMICON Japan 2024
